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泉州三安半導體科技有限公司

 

發布日期:2022-09-20

泉州三安半導體科技有限公司有機廢氣VOCs排氣治理工程簡介

(上海安居樂提供全部核心環保裝備并負責承建調試)

一、工程概況

1、項目地點:福建省泉州市南安市石井鎮院前村

工程名稱:泉州三安半導體科技有限公司有機廢氣排氣治理工程

處理廢氣量:45000m³/h,經轉輪吸附脫附后,經過安全型RTO焚燒爐處理量為5000m³/h。

2、廢氣成分:

PGME(丙二醇甲醚)、PGMEA(丙二醇甲醚醋酸酯)、IPA(異丙醇)、、、、等等

廢氣排放平均濃度:200 mg/m3;

廢氣排放流量:45000CMH(25℃)

驗收標準

VOCs 濃度在 100-200mg/m3 以上時,去除率 95%以上。

THC 濃度在 50~80 mg/m3 以上時,去除率 85~90%以上。

THC 濃度在 50 mg/m3以下時,出口平均濃度不得超過 10 mg/m3。

《福建省環保廳關于印發福建省重點行業揮發性有機物排放控制要求(試行)的通知》

(RTO 尾氣含氧量折算方法執行《揮發性有機物無組織排放控制標準》)

本項目驗收執行《大氣污染物綜合排放標準》中關于揮發性有機物排放指標要求。

3、工藝簡述:

廢氣經收集后,首先進入四級預處理系統(初、中、高效過濾器,半導體行業分子篩定制保護器)凈化去除廢氣中的粉塵顆粒物等,再導入冷凝系統、利用甲方冷卻水給廢氣降溫,最后由沸石濃縮轉輪吸附區吸附,濃縮轉輪吸附住的有機物,從轉輪脫附區域脫附出來進入 安全型RTO 高溫氧化處理,脫附熱風從冷卻風機(變頻)抽出,高溫熱旁通換熱加熱,達到脫附溫度要求,此溫度可通過高溫熱旁通比例閥門 4-20 mA 信號自行調節。從轉輪脫附出來的小風量,高濃度有機廢氣送入 安全型RTO 高溫氧化爐中,GRTO 出口分解后的潔凈氣體,可以直接從煙囪排出。

4節能:系統設計根據風量自行調節設備處理量及運行工況,達到節能的效果。